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    2. Harmonic執行器在半導體CMP設備中的應用

      2023-06-12 10:30:57 admin

      伺服電機

      SHA、FHA、RSF系列執行器是日本Harmonic公司的一款諧波減速機和伺服電機一體化的產品。HMA是大中空直驅力矩電機產品。
      SHA系列執行器有6種尺寸可選,最大輸出轉矩為3419Nm,減速比范圍11~161,單向定位精度≤30arcsec(1:80以上速比)。
      FHA-C系列執行器4種尺寸可選,最大輸出轉矩達820Nm,減速比范圍50~100,單向定位精度≤30arcsec。
      RSF系列執行器4種尺寸可選,最大輸出轉矩達330Nm,減速比范圍50~100,單向定位精度≤90arcsec。
      HMA系列直驅電機5種尺寸可選,最大輸出轉矩33Nm,最高轉速6000rpm,中空直徑最大60mm,標配絕對值編碼器單圈17位多圈計數16位。
      北方某客戶在CMP設備使用了SHA、RSF、HMA和FHA系列產品:
      1、 轉臺:負載220kg,直徑1600mm,交流伺服電機+行星減速機無法滿足安裝空間和精度要求,選用了SHA65A產品,減速比為1:161,輸出轉矩為3419Nm,滿足了晶片轉臺大慣量匹配及快速定位需求,中空結構可放置氣管和線纜,扁平機身降低安裝空間和設備重心;
      2、 磨頭:選用了RSF-32A產品,集成高分辨率編碼器和1:50減速機,使輸出端轉速波動小,運行平穩,提高了研磨精度;
      3、 清洗甩干:選用了HMAB12產品,最高輸出轉速4800rpm,中空法蘭輸出結構便于晶片吸取,大扭矩高慣量使甩干速度運行平穩。
      4、 FHA-40C產品應用于清洗的提拉翻轉機構,減速比為1:100,輸出轉矩為690Nm,小體積高功率密度降低安裝空間需求。
      驅動器選用了Copley公司的XEL-230-18,通過EtherCAT總線接入倍??刂破?。
      Harmonic執行器產品的應用,很好的滿足了客戶對于提高控制精度,高速定位,緊湊安裝空間的需求。

      標簽: 日本Harmonic
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